產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品概述：
高精度氣浮平臺(tái)是一種利用空氣軸承技術(shù)實(shí)現(xiàn)無(wú)摩擦、高精度運(yùn)動(dòng)的設(shè)備。它通過(guò)壓縮空氣在平臺(tái)與底座之間形成一層極薄的氣膜，使平臺(tái)能夠以極低的摩擦力和高穩(wěn)定性進(jìn)行移動(dòng)。這種平臺(tái)廣泛應(yīng)用于精密制造、光學(xué)檢測(cè)、半導(dǎo)體加工、納米技術(shù)等領(lǐng)域，諸如半導(dǎo)體或平板顯示器制造中的計(jì)量、光子學(xué)和精密掃描。
特點(diǎn)：
直線度、重復(fù)性和定位精度極高。
速度快、同步性高。
高度定制化（不同的承載、不同的行程、不同的精度要求、不同的電氣控制和不同的使用環(huán)境)
典型應(yīng)用場(chǎng)景:
1).光刻機(jī)：用于半導(dǎo)體制造中的高精度對(duì)準(zhǔn)和曝光。
2).光學(xué)檢測(cè)設(shè)備：用于鏡頭、棱鏡等光學(xué)元件的精密檢測(cè)。
3).納米壓印設(shè)備：用于納米級(jí)圖案的復(fù)制和加工。
4).精密測(cè)量?jī)x器：如三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)、激光干涉儀等。
